1 、SF6氣體抽真空裝置操作過(guò)程：

第一步：通過(guò)軟管將裝置和SF6電器設(shè)備連接在一起。

第二步：按下控制面板上的綠色抽真空按鈕，啟動(dòng)抽真空功能（前級(jí)泵將先啟動(dòng)，待真空度達(dá)到一定預(yù)設(shè)值羅茲泵啟動(dòng)）。

第三步：緩慢打開(kāi)真空泵球閥和管道連接球閥。

第四步：抽空SF6電器設(shè)備，直至達(dá)到穩(wěn)定的真空度。

第五步：等達(dá)到設(shè)定真空度后，設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)狀態(tài)。（出廠設(shè)定為：低于30Pa時(shí)進(jìn)入計(jì)時(shí)狀態(tài)，當(dāng)計(jì)時(shí)結(jié)束后停機(jī)，回升到200Pa時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)。）

注：本裝置為選配件。修改設(shè)定值見(jiàn)《數(shù)顯電阻真空計(jì)說(shuō)明書(shū)》。

初試值：O1H=5000Pa；O1L=30Pa；O2H=200Pa；O2L=200Pa。

2 、SF6氣體抽真空充氣裝置對(duì)SF6電器設(shè)備回充氣體

第一步：在確保裝置連接管道真空后，關(guān)閉真空泵球閥和真空真空計(jì)閥

第二步：將SF6氣瓶連接到SF6回充設(shè)備上。

第三步：打開(kāi)SF6氣瓶，調(diào)節(jié)減壓閥到所需的充壓，打開(kāi)裝置連接管道閥門(mén)，回充氣體。

第四步：當(dāng)達(dá)到所需的充氣壓力時(shí)，再次關(guān)閉SF6氣瓶，關(guān)閉所有閥門(mén)，完成回充操作。